「现在没人看笑话了,反倒是多了一群得了红眼病的人。」陈延森戏谑地打趣道。
这话说得孟远志极为高兴!
孟远志握着陈延森的手,力道又加重了几分,目光灼灼地扫过眼前初具规模的现代化厂区,最终落回到陈延森脸上,语气带着感慨与期待:「之前总有人说,咱们内陆省份搞半导体没优势,比不上沿海的产业链配套,破晓 A220 EUV光刻机一出,谁还敢说这话?」
「孟先生,请。」陈延森侧身引路,对一旁的姚传强递了个眼色。
姚传强立马心领神会,深吸一口气,压下激动的心情,走在一行人的左侧,为陈延森和孟远志讲解一期工程的功能区。
「我们当前所处的是项目一期核心区,这座Fab主厂房,占地面积是30.2万平方米,建筑面积69.4万平方米,严格按照国际最高标准的半导体洁净车间设计建造的。
它的主体结构和外围洁净区已经全部完工,内部核心设备正在分批进场安装调试。」
姚传强显然做过功课,言语清晰,数据张口就来。
众人沿着预设的参观通道向前走。
陈延森适时补充道:「一期项目全面投产后,预计将直接创造超过5000个高新技术岗位,工程师和技术研发人员占比将高达70%。」
「5000个高质量岗位」孟远志听后,下意识地重复了一遍,然后看向陈延森说道:「这不仅能极大缓解本地高端人才的就业压力,更是一个强大的人才磁极。」
陈延森应了一声道:「孟先生说得对!人才是创新的根本,星源科技正在与中科大、合工大等高校洽谈,准备共建联合实验室和人才定制培养计划,进而推动产业链上下游的发展。」
孟远志点了点头,马上表态:「要是遇到阻塞的节点,尽管开口。」
言外之意,他愿意为星源科技协调教育和学术圈的资源。
陈延森笑了笑,并未拒绝,大大方方地应下。
紧接着,行至一处巨大的观景窗前,可以俯瞰整个生产区域。
姚传强适时同步道:「这片是晶圆制造的核心动线,从左到右依次是扩散区、光刻区、刻蚀区和离子注入区,每个区域都配备了双重冗余系统,哪怕单一设备出现故障,备用设备能在30秒内无缝衔接,确保生产不中断。」
「陈总,是我心急了,应该等星源科技投产后再来才对。」
孟远志望着空荡荡的场区,以及正在平整地面、安装窗户的工作人员,轻声说道。
「孟先生来得正是时候,正因为还未投产,才能看到生产基地最真实的一面。」
陈延森指着光刻区的方向:「比如那十二个C45混凝土基座,每个都深入岩层二十米,内部铺设了三层阻尼减震系统。
为了达到EUV光刻厂的防震标准,我们在基座里灌注了特种树脂,单这一个环节就耗时两个月。
当振动频率在1赫兹以下时,振动位移限值能控制在0.1纳米;在大于100赫兹时,也能将振动位移限值限定在1纳米之内。」
孟远志顺着指引细看,果然发现基座表面有着不同寻常的光泽。
这时姚传强适时递上平板电脑,调出施工时的三维剖面图。
「这是华科协会力学所专门设计的悬浮式基础结构,每个基座都像漂浮在弹簧上,能隔绝地面振动和声波干扰。」
陈延森接过平板,不紧不慢地解释道。
孟远志俯身盯着基座接缝处的参数,虽然不太明白,但有陈延森在旁边,迅速就理解了这项数据背后的意义。
「湾积电金陵制造厂的防震标准,不及星源科技的十分之一,因为破晓 A220的精度要求比现有的EUV光刻机还要高一个数量级。」