用「电磁场」代替「雷射」作为激发和约束等离子体的手段，在放电区域周围设置一组超导磁体线圈，产生一个特殊的磁镜场构型。
先用脉冲电流激发等离子体，再用多层反射镜来收集13.5纳米的波长，最后聚焦和输出。
林南原本不以为然，但在研究一段时间后，他发现老板的方案并非是空想，而是具备极强的可实现性。
事实证明，这条路是对的！
「行，先这样。」
陈延森极为平淡地挂了电话。
在他看来，光刻技术是个无比庞大的环节，除去光源部分，物镜系统、双工作台、光刻胶等模块也是重中之重。
搞定EUV光源的激发方式，不过是千里之行，才走一步而已。
另一边。
林南暗自咋舌，表情有些失控，他其实很想再打回去告诉老板：「凭藉这项技术，明年拿个国家最高科学技术奖，也不是没有可能啊！」
可他转念一想，深蓝科技还有三个诺贝尔化学奖的获得者，老板的反应平淡也很正常。
由于『磁约束放电等离子体光源』是星源科技和华科协会的共同研究成果，消息在国内的科学界飞速传开。
胡锐晖在得知后，猛地站起身，根本不敢相信。
「这才四个月不到，就特幺有成果了？开什幺玩笑？」
胡锐晖在办公室里走来走去，竟破天荒地爆了粗口。
同一时间，哈工大光学实验室和龙州光机所也收到了消息。
第一反应，假的！
可他们在反复验证后，又不得不相信，星源科技和燕京光电所，还真把EUV光源技术给搞了出来。
并且，还成功绕过了阿斯麦、卡尔蔡司、山星、湾积电和Cymer构筑的专利防御墙。
两个小时后，李青松接到胡锐晖的电话。
「先封锁消息，让安国协会的工作人员立刻赶到沪城，所有参与了研发过程的人员，一律签署保密条例。」
李青松在明白这项技术的重要性后，脸色瞬间变得凝重起来，冲着一旁的秘书吩咐道。
他在星源科技身上，看到了国产光刻机崛起的希望！
「好的，李先生。」秘书不敢耽搁，抓起电话就开始联系安国协会，将需要签署保密条例的人员名单、对接流程一一梳理清楚。
李青松则站在办公室的玻璃窗前，望着燕京灰蒙蒙的天空，不由地陷入了沉思。
星源科技在EUV光源领域的技术突破，像一道惊雷，劈开了自研光刻机路上的迷雾，可随之而来的，还有无数即将袭来的暗流。
一旦消息泄露，阿斯麦、卡尔蔡司那些国际巨头绝不会坐视不理，要幺通过专利诉讼拖延进度，要幺联合供应链施压，甚至可能动用盘外力量干预。
毕竟，半导体行业从来都不只是单纯的技术竞争，背后牵扯着太多的利益博弈。
星源科技的发展让人出乎意料！
