上午的会议结束,人群开始散场。
常浩南没有立刻离开而是起身,径直走向了正被几位同行围住交流的吴明翰院士。
「吴院士,您好。」常浩南伸出手,语气平和而尊重。
吴明翰连忙结束与旁人的谈话,转过身,双手握住常浩南的手:「常院士!您好您好!没想到您也来参会了,刚才的议题……」他以为常浩南是来讨论大会内容。
常浩南微微一笑,开门见山,却又绕开了刚才大会的焦点:「吴院士,这次来,是想了解下华芯国际在更成熟制程方面的能力。」
这个说法实在有点太模棱两可,吴明翰用笔帽蹭了蹭头发:「具体是指……哪方面?」
会场内人多眼杂,再者栗亚波那边的试验也还没个结果,所以常浩南还不准备把自己的成果直接说出来。
而是换了个角度。
「我们火炬集团,连同火炬-C.B.法拉利公司,目前正在积极布局智能制造和工业物联网领域。」他提到了自己掌控的资源,「这一块对晶片的需求量巨大,而且跟传统的工控需求不同,这一块对产品性能的要求不亚于消费端。」
「不知道……华芯国际目前在48nm,以及更精细工艺节点的产能如何?是否能支撑大规模、高性价比的流片需求?」
吴明翰作为内行人,当然知道再怎幺高精尖的工控需求也不太可能跟消费端一样,所以对方的提问大概率是醉翁之意不在酒。
因此比较委婉地回答道:
「常院士,智能制造和物联网这块,主要应该是48nm,或者更成熟的65nm、90nm节点,这些算是我们目前产能的主力,良率和稳定性经过多年打磨已经相当不错,成本也有竞争力,但是……」
他话锋一转,转向另一个角度:
「您说的『更精细节点』,如果想通过NXT:1950i这样的深紫外设备制造,那就要结合离轴照明、相移掩模、还有多重曝光这些技术,去强行实现比理论极限更高的解析度……技术上,我们确实在攻关,也取得了一些成果。」
常浩南也看出对方是会了意,于是追问:「量产能力和良率如何?」
吴明翰摇摇头,语气变得沉重起来:「理论上,曝光次数每翻一倍,解析度就能增加一倍,但实际问题非常大……」