减少三分之一,这很重要。
但还不是最重要的。
「而且,」张汝宁补充道,「这套系统的体积,只有传统消色散组件的不到五分之一!」
更紧凑的体积和更简单的结构,相当于给物镜组的其它部分留出了更高的自由度。
显然,他们成功了。
这不仅仅是数据的胜利。
还是为突破ASML在光刻技术上的封锁,打开了一扇充满希望的窗……
不对。
何止是开窗。
这是把房顶都给掀了……
就在众人沉浸在初步成功的喜悦中时,气密门再次滑开。
一名测试人员探进头来:「栗教授,有电话找,常院士的。」
正在跟另外几人讨论结果的栗亚波一愣,接着匆匆离开。
但仅仅几分钟后,又去而复返。
「各位!」栗亚波打断了讨论和庆祝。「常院士让我立刻通知大家,尽快去顶楼会议室集合!」
张汝宁脸上的笑容瞬间收敛,严肃起来:
「栗教授什幺事这幺急?」
他看了看旁边的设备,还有电脑屏幕上的数据:「实验方面还有些收尾和重复验证……是需要所有人都过去幺?」
「老师说,他找到了一种全新的理论方法!」
可能是因为之前一路跑过来的缘故,栗亚波的呼吸有些急促:
「可以替代现有体系,对偏振像差进行描述和理论解释。」
此话一出,就连正坐在电脑前分析数据的何修军都停下了手上的动作,转过头来看向栗亚波。
「替代琼斯矩阵?」
不止一个人脱口而出。
在传统光学系统的成像过程中,大多是将光看做标量处理,而忽略其矢量特性。
但在投影光刻物镜中,当数值孔径NA不断增大时,光的矢量特性对成像效果影响也会逐渐增大。
尤其对于3G浸没液和镥铝石榴石这样NA值预计会大于1.70的系统,传统标量像差理论已经不足以完全表征光学系统的成像性能。
必须使用偏振像差理论。
然而,偏振相差甚至没有一种完善的描述形式,穆勒矩阵和琼斯矩阵各自有无法适用的范围。
如果能解决这个问题,无疑是补上了超高精度成像领域的一个缺口。
张汝宁瞬间做出决断:
「先暂停手头的所有实验操作,锁定设备状态!」
「小何,注意保存好所有数据。」
「所有人,跟我上楼!」
(本章完)