这时,另一个声音响起带着强烈的期待:
「张组,栗教授!既然菊厂他们敢保证7nm晶片交付,是不是……是不是搞定了EUV光源?!」
这个问题如同投入平静湖面的石子,瞬间激起了更大的涟漪!
尤其是刚才栗亚波神神秘秘地提到了「部分核心元器件」的说法,似乎更加印证了此人的猜测。
「对啊!EUV!」
「EUV的物镜确实比DUV简单!」
「要是EUV成了,几个月搞出来倒真有可能!」
众人眼睛都亮了,充满期待地看向张汝宁和栗亚波。
如果真是EUV,那简直是惊天动地的突破。
可张汝宁却缓缓摇头,打破了众人的幻想。
「光源,依然是DUV,193nm波长。」
眼神中的光芒黯淡下来。
「还是DUV?」
「那……那怎幺做到单次曝光7nm?」
「……」
虽然碍于张汝宁的身份和权威,没人直接质疑。
但每个人脸上都写满了「不太相信」四个大字。
他们都是浸淫光学系统设计多年的专家。
DUV的物理极限在哪里,他们心里跟明镜似的。
超越这个极限?
闻所未闻!
张汝宁看着众人那副「你在逗我」的表情,心里别提有多舒坦了。
实际按照常浩南的想法,虽然具体细节确实不能在长光集团公布,但大体技术路线却没有这幺敏感,可以提前跟这些核心骨干透露一二。
反而是张汝宁自己提出要「严格保密,以身作则」,主动要求等到了上沪微电子之后再统一公布……
(本章完)