那里摆放着一台体积明显更小的光刻设备。
稍微走近几步之后，就能看到银灰色的外壳上，「ArF1800」的标识清晰醒目。
此刻，一群技术人员正围拢在它的操作台和监控屏幕前，进行着流片前的最后确认。
头顶高处挂着一个标识牌：F-3产线。
「就是它了。」吴明翰的声音带着自豪引着众人走到一个安全的观察距离，「ArF1800，我们自己的深紫外光刻机。」
他指向设备，开始介绍，语速平稳却透着自信：「这台机器，光源、掩膜台、对准系统、控制系统，都充分继承了前代1500型和1200型的成熟设计理念和操作逻辑，并做了大量优化。尤其是光源的稳定性和对准精度，提升显着。」
他眼神中带着感激地看了一眼常浩南：「我们的工程师团队全程参与了上沪微电子的组装调试，对它的『脾气』摸得很透所以这次产线升级和人员培训非常顺利，也比预期更快地克服了最后的一些技术问题。」
就在这时，一盒承载着希望的硅晶圆基底，通过自动物料传输系统（AMHS）的机械臂，平稳地运送到了F-3产线的起始工位。
常浩南还记得自己上次来到这里时的场景。
这些晶圆比他之前看到的要大上一圈。
「这是12英寸晶圆吧……」常浩南问道，「上次你们跟我提过的新硅片厂，已经投产了？」
「常院士好眼力！」
吴明翰赞道，脸上笑容更盛：
「ArF1800的高解析度和高生产效率给我们省下了不少资源和精力，所以这次我们同步升级了F-3产线的晶圆处理系统，全面兼容12英寸晶圆。大尺寸晶圆能显着提升单次生产的晶片数量，降低成本，这也是国际主流的方向。」
众人的视线随着逐个铺展开来的晶圆在整条产线上不断转移着——
晶圆首先进入全自动清洗和前烘设备，去除表面污染物和水分。
接着是氧化炉，在晶圆表面生长一层薄而均匀的二氧化硅。
随后，晶圆被送入关键的匀胶机。
高速旋转中，粘稠的光刻胶被精准地涂覆在晶圆表面，形成一层厚度仅有微米级别的均匀薄膜，接着前烘氧化进一步去除溶剂，固化胶膜。
对于华芯国际而言，这些步骤都已经相当成熟。
