对准系统:目前我们采用的是来自种的橙科(ck)的对准子系统。
它的静态精度达到了0.000018°/h,动态群体校正算法能有效补偿振动,定位误差控制在亚纳米级。
如果换回我们之前使用的得国蔡斯方案,其动态误差控制略逊,可能导致套刻误差增加,良品率预计下降5%。”
提到“种的ck”时,闫涛南的语气微微一顿,一丝极其复杂的情绪在他眼中一闪而过。
那是一种夹杂着对同胞技术崛起的微妙自豪感,与对两岸未知竞争格局潜藏的不安。
温尼克认真地听着,手指无意识地轻敲着桌面。
“我明白了!我们阿斯唛能成为全球光刻机的领导者,正是因为我们汇聚并整合了全球最顶尖的技术。
自己搞全产业链的霓虹和北美对手,反而被我们甩在了身后。”
温尼克脸上重新露出笑容,用力拍了拍闫涛南的肩膀。
“闫,你的工作无比出色,董事会已经批准,正式任命你为阿斯唛全球副总裁,全面负责euv后续的迭代和商业化量产!这是你应得的!”
“非常感谢您的信任,温尼克先生!”闫涛南激动地与总裁握手。
离开euv实验室的喧嚣,温尼克又来到了隔壁的duv光刻机研发中心。
这里的气氛相对沉稳,技术更加成熟。
他找到了负责duv的副总裁兼首席技术官马丁。
“马丁,我们新一代的nxe:3300b duv光刻机(用于7nm及以上制程),换装了新的子系统后,效果如何?”
马丁脸上洋溢着自信的笑容。
“非常好,温尼克!
原本我们的新一代duv光刻机的良品率基准在50%。
换装北美cymer的新光源后,提升了10%。
采用得国蔡斯最新的光学系统,又提升了10%。
最关键的是,引入了你上次特批的那家种企业ck micro motor的对准子系统,再次提升了10%!
现在nxe:3300b的稳定良品率达到了惊人的 80%!
远远超过霓虹尼糠最新机型nsr-s635d的两倍。
我们在duv光刻机领域的优势,还在扩大!”
温尼克满意地点点头。
这正是他全球化供应链战略的成功印证,用世界最好的技术,造世界最好的机器。
“很好!euv项目继续推进,督促所有供应商,尤其是cymer、蔡斯和ck,尽快优化技术,解决更多的技术问题,目标是早日实现euv的商业化量产!”
“至于新一代的duv光刻机,全面采用这些新的、经过验证的顶尖子系统方案,立刻扩大采购,巩固我们的市场领先地位!”
命令迅速下达。
阿斯唛的供应链采购工程师们,带着雪片般的新订单,飞往北美、得国,以及大洋彼岸遥远的种。
飞往种的,依然是橙科的老熟人--保罗。
这次,他甚至回去带上了自己的女儿艾丽,想让她亲眼看看这个正在飞速崛起的神秘东方国度。