他急忙往下看去。
「设两束波长为λ的相干光，对称入射至光刻胶表面……」
「利用空间几何约束，干涉条纹周期 d =λ/(2inθ)……」
「亚波长解析度验证……」
张默是越看越心惊，越看越精神。
这个学生的解法，虽然用的是高中物理的简谐波叠加公式，没有用到他们工程中那些复杂的傅立叶光学变换和矢量衍射理论。
但是！
逻辑上却挑不出一点毛病。
而且结尾的备注更是让他眼前一亮。
【注：此方案可以省去高精度掩模版制造的环节，而且不需要投影物镜组，虽然对光源相干性与相位稳定性要求较高，但在周期性微纳结构的小批量高精度制造中，成本优势巨大。】
「嘶。」
张默咽了咽口水，忍不住喝了一口桌上的咖啡。
「有灵性，这是真的懂行。」
这个学生准确的抓住了「无掩模」和「去透镜化」这两个降本增效的关键点。
张默在心里快速估算了一下。
如果按照这个学生简化的思路，去搭建一个用于特定制程的中试线。
省去了千万级的投影物镜，省去了百万级的掩模版套组。
「高相干稳频光源成本虽然会提升 2倍左右，但整体 BM成本……至少能下降 40%！」
他自己都有些惊疑不定了。
「真的假的？」
他快速抽出一张 A4纸，飞快的验算起来。
Δ≈ _Laer_able -(_Prjein_Len + _Mak_e)
他在纸上画出了几个简易的模块图，嘴里念念有词。
「如果用他在题里提到的『分光棱镜』做相干分光，配合平面反射镜做光路折叠，机台的体积还能再缩小……」
如果按照这个学生简化的思路去搭建实验台，成本比他们现在用的那套设备，起码还要低 10%~15%。
「不行，得让组里的人先做个模拟！顺着这个高中物理的思路，看看能不能把那个该死的『相位锁定模块』给简化掉！」
张默此时已经顾不上什么阅卷纪律了，他拿着试卷起身就向外走去。
旁边的教授诧异道。
「张工，你去哪？卷子还没改完呢。」
张默就像没听见一样，嗯，他确实是没听见，现在他满脑子都是降低成本。
留下几个阅卷老师面面相觑。
「怎么了这是？」
「不知道啊……」
