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八个字概括就是,精度不够,工序来凑。

“要两倍的流片费用,高总,14纳米的……”

陈星刚想问问流片费多少,却发现高永明整个人止不住颤抖,瞳孔微缩的同时,充满了恍然大悟与激动之色。

他身旁的两位光刻工程师,也在喃喃低语。“多重曝光…”

“既然单次精度不够,为何不分两次曝光呢?”

“好天才的想法…”

三人似乎进入了顿悟状态,高永明本身就是干这方面的,同时也是光刻领域的教授,他自然不会听不懂林天在说什么,现在他脑海只有一段话:“多重曝光技术,duv光刻机的春天终于要来了吗?”

一阴一阳的图案互补,理论上是绝对可以的,而且还能一分为四,虽然工序更复杂,还别说,7纳米芯片真能造!

曲程也在惊叹这个想法,他怎么说也是半导体领域院士,虽然不是光刻方面的,但步骤他可都是一清二楚的。

惊叹林天想法的同时,也在感慨陈星运气怎么这么好,可以结识到这么多天才。

高正谦、白衍、林天这三人,他都可以用怪胎形容了,而陈星可以同时和他们结交,并将其收入麾下,怪不得有人说,运气也是实力的一部分。

不知过去多久,可能有足足十分钟左右。

“呼——”

唐鑫宇长舒一口气,看向高永明说道:“生产阴阳芯片掩膜版,没准真能突破光刻机限制,造出14纳米芯片。”

“我觉得可以一试。”

另一位龙芯国际的工程师也开口给予肯定。

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