吴明翰脸上浮现出复杂的神情。
他没有直接回答，而是引着常浩南走向该区域旁边一个专门的陈列台。
「常院士请这边看。」
陈列台上并非闪闪发光的成品晶片，而是整齐摆放着数十片晶圆。
乍看之下，它们与刚才看到的完成镀膜的晶圆似乎并无太大区别。
常浩南转向对方，等待着更进一步的说明。
吴明翰拿起靠近他的一片晶圆，指着上面几处微小的、肉眼几乎难以分辨的重影区域：「这就是『套刻误差』导致的报废。在多重曝光中，第一次曝光形成的图案和第二次曝光需要精确对准。哪怕只有几纳米的偏差，迭加后整个电路就失效了。」
他放下这片，又拿起另一片，指着表面某些线条粗细明显不均的地方：
「这是『关键尺寸偏差』，多次曝光、显影、刻蚀的累积效应，导致不同区域的线宽无法保持一致，超出了规格极限。」
他再拿起第三片：「这是『显影缺陷』……工艺窗口太窄，稍有不慎，图案就毁了……」
「……」
他如数家珍般介绍着每一类报废的原因，语气平静，却像在展示一场场微缩战役的遗迹。
「这些，都算是我们交的学费……不过，在EUV光刻机很可能无法获取的当下，这是我们唯一能看到的、通往更先进位程的技术途径。」
话语里听不出太多抱怨，只有一种面对客观规律的无奈。
常浩南的目光缓缓扫过这片触目惊心的「报废陈列区」，在这些承载着高昂代价和失败印记的晶圆上停留了几秒。
就在他移开目光的瞬间，视线落在了陈列台旁边墙上一个不起眼的展示框内。
