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「是的,常院士。」黄炜肯定道,「这是我们目前量产的主力尺寸。」

旁边的吴明翰适时补充:「12英寸(300mm)的产线还在备产阶段,主要是……现在公司的资金和顶尖工程资源,绝大部分都集中投入到光刻环节的突破上,尤其是利用现有深紫外(DUV)设备攻坚更先进位程的研发。」

「不过从技术储备的角度,我们并不落后太多,一旦资金或关键设备到位,提速会很快。」

常浩南微微颔首,没有多言,示意继续前行。

「后面就是光罩制作区了。」黄炜一边引路一边介绍,「把IC设计图用电子束刻在石英片上,就能制成光罩,这个东西类似照相底片,刚才生产的晶圆就是相片纸,基本原理和洗照片差不多。」

虽然不完全准确,但足够生动,哪怕是外行也很容易理解。

「这里是我们给客户提供代工服务的主力区域。」黄炜指着几台正在运行的光刻机介绍:「除了满足国内IC设计公司的需求之外,我们也承接像德州仪器等国际厂商的部分订单。」

常浩南微微露出惊讶的表情,只是隔着面罩展现不出来。

「还有外国订单?」

「嗯,产品主要面向国内和中亚市场。」吴明翰解释道,「中低水平制程这块,我们流片的良率和速度都有优势。」

常浩南突然意识到,如今半导体产业的情况,要远比自己过去那条时间线上复杂得多。

介绍间,黄炜注意到常浩南的目光并未停留在运行中的量产设备上,而是投向了不远处一个被透明围挡隔开的区域。

那里同样属于光罩制作区,但周围聚集的技术人员更多,氛围也更显紧张和专注。

「常院士,那边是我们的研发攻坚区。」黄炜解释道,「您也看到了,生产和研发在光刻这个环节,很多时候是共用同一条线,设备和技术是互通的。」

「那边就是在尝试双重甚至四重曝光技术,目标是用我们现有的NXT:1950i DUV光刻机,向更小的特征尺寸发起冲击。」

常浩南的目光转向吴明翰:「这就是之前您提到的,良品率最低、成本最高的环节?」

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