第1606章 多重曝光
三天后,未来信息产业大会圆满落幕。
常浩南婉拒了后续的交流活动,在周学和两名便装警卫的陪同下,乘坐一辆低调的中巴车,直奔华芯国际设置在津门海河新区的生产与研发基地。
按照常浩南本人的要求,基地没有设置盛大的欢迎仪式。
只有负责人黄炜和提前一天回津的技术总监吴明翰,以及几名核心技术人员安静地等候。
看到常浩南下车,为首两人立刻迎上前。
简短的寒暄后,常浩南一行人便在专人引导下,前往更衣区。
晶圆制造对洁净度的要求比手术室严格百倍,因此在进入核心区域之前,必须换上全套特制的无尘服,并经过严格的风淋除尘程序。
踏出气动闸门之后,空气里就只剩下特有的洁净室气味,以及微弱的机器嗡鸣。
透过观察窗,可以看到一批完成抛光和清洗、表面光洁如镜的硅片,正被机械臂精准地送入沉积区,进行着薄膜生长。
「常院士,这是我们最基础的环节之一,硅片的制备和初始加工。」黄炜的声音透过通讯系统传来,「经过表面处理、清洗、沉积必要的镀膜作业之后,晶圆才会进入后面的光罩制作……也就是光刻环节。」
黄炜一边介绍流程,一边注视着自动化流程的完成。
正巧,一个批次的晶圆刚刚完成镀膜,被机械臂取出。
他示意操作员取出一片样品,隔着专用视窗展示给常浩南。
晶圆表面反射着顶灯的冷光,呈现出均匀的光泽。
常浩南俯身盯着晶圆的尺寸和边缘,伸手隔着玻璃比划了一下,问道:「黄总,这一批是200mm(8英寸)?」