张汝宁的声音透过面罩,显得有些瓮声瓮气,但还是能听出明显的错愕,眼神也在几人之间游移不定。
栾文杰倒是知道眼前就是常驻火炬实验室进行系统研发的长光集团技术团队,但因为同样的原因,也分不清其中谁是谁。
好在常浩南及时开口,向二人分别介绍了对方的身份。
这下,栾文杰总算有了精确的目标,上前几步来到张汝宁面前,主动跟他握了握手。
而后者在听过刚才的介绍之后,就已经脑子嗡的一声愣住。
工建委一把手!
他下意识地就想说些「欢迎领导视察指导」之类的场面话,但到了嘴边却又猛地卡住——
眼下可是在火炬实验室的地盘上,自己身为临时来此工作的合作方,做出欢迎表态似乎有喧宾夺主之嫌。
结果僵在原地,一时不知如何是好。
一股微妙的尴尬瞬间弥漫开来。
「栾主任,刚刚被提升起来的那两个模组,就是我们专门给SMEE ArF-1800光刻机研发的物镜系统,还有作为对照组的ArF-1500物镜」
又是常浩南及时开口,把众人的注意力转移到了旁边的测试平台上。
无形的压力瞬间消失,张汝宁如蒙大赦,立刻接上话题:
「我们刚刚进行的测试,就是在193nm的DUV光源条件下,对比新旧两种物镜方案的性能……」
栾文杰并非光学系统或者半导体出身,之前也没看过光刻机被大卸八块之后的样子,所以下意识来到体积更大的1500模组旁边,左右看了一圈然后才瞄向另一边体积更加紧凑的1800模组。
「体积大了这幺多?」
显然,他是把更大的模组当成了更先进的。
当然传统上,光刻系统的物镜组也确实是性能和体积成正比。
只不过常浩南的路子实在不同寻常。
张汝宁赶紧解释:
「我们采用了火炬实验室提供的负折射材料,结合常院士提出的『折反镜一体设计』理念,大大简化了物镜组的光学设计。」