听到「简化」两个字，栾文杰才意识到自己把目标给搞反了。
好在还没把脸给丢出去，所以又故作沉着地踱步到更小的那个模组旁边，微微俯身，似乎想从眼前繁复的结构中找出些许相似之处。
只是理所当然地失败了。
「传统的折反式物镜组内部包含超过三十片精密镜片，用于校正像差、色差，并尽可能提升数值孔径……不仅结构复杂，体积和重量很大，而且其中的反射元件对于加工精度的要求非常苛刻。」
张汝宁进一步介绍道：
「而在更新的1800物镜组里面，大部分功能被集成在少数几片核心镜片上，独立光学元件的数量缩减到14个，所以体积比老型号小了一半以上……」
「……」
就在这时，一直坐在控制电脑前的何修军突然站了起来。
「张组长，最新一组测试数据已经处理完成！」
他走到张汝宁同时也是走到栾文杰身边，汇报导：
「193nm波长下，1800物镜组的等效数值孔径（NA）实测最大值为1.8009，最小值为1.7996，NA一致性达到±0.0013，该数值远优于我们设计指标要求的±0.006，也完全符合设计方案中理论NA值1.80的预期……」
「全视场振幅极化量RMS（均方根值）实测最大11.85%，最小11.80%……」
「全视场相位延迟量RMS实测最大3.77nm，最小3.45nm……」
实际上，这里面的多数参数都是之前就已经测完的，而且往常也不需要他专门汇报一遍。
报告导出来，大家分别翻阅就行了。
但此刻面对亲临一线的栾文杰，这份详尽到几乎冗余的数据汇报，就显得格外「恰到好处」且分量十足。
「等等。」
果然，栾文杰打断了后续的参数报告。
他既然是专程来考察光刻机，那对于这些基本参数自然有所了解。
虽然被一大堆突然涌入的数据搞得有些头脑发胀，但还是敏锐地捕捉到了其中最关键的部分。
NA值，1.80！
