十几年前，DUV光源才刚刚引入光刻系统。
模组简单，是因为性能相对较低。
但现在拿出这幺个紧凑的系统，显然是另一回事。
「别急。」张汝宁回头看了他一眼神秘地笑了笑，「更让你震惊的，还在后面呢。」
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语毕，他和寿荣昌二人亲自上前，小心翼翼地一齐发力将巨大的护罩缓缓移开。
紧接着，几名穿着洁净服、戴着特制手套的工程师上前，在张汝宁的亲自指导下，极其谨慎地解除了模组的固定装置，然后合力将其沿着精密滑轨，平稳地转移到旁边一个特制的光学装配平台上。
当模组稳稳落位后，最关键的时刻到了。
又是两名工程师上前，用特制的工具，极其轻柔、精确地，逐一取下了覆盖在每一个镜片组上的黑色遮光保护罩。
物镜组的真容，终于毫无保留地展现在所有人眼前！
银灰色的精密金属镜筒内，十四个大小不一、形状各异的镜片组按照特定的顺序排列组合，镜片边缘在无影灯的照射下闪烁着独特的光泽。
「这……」孔学武双眼猛地瞪圆，下意识地往前凑了一步，有些难以置信地嘟囔着，「这……这光路结构……怎幺看着像个……复古的纯折射式物镜组？」
要知道，从三代之前的ArF-850开始，长光集团就放弃了纯折射模组，转而引入折反式系统。
寿荣昌也眉头紧锁，绕着装配平台走了一圈，手指在虚空中比划著名。
他作为整机集成专家，对光路极其敏感。
「奇怪……」寿荣昌的语气中充满困惑，「我好像有点看不懂这个镜头组的光线通路……」
说完，他后退几步，又比划了两下。
还是得到了一样的结果：
「无论假设光源从1号镜（最上方的凸透镜）还是2号镜的位置入射，按照这些镜片的曲率和棱镜角度，光线似乎都无法有效汇聚到底镜上……反而感觉会从侧面，比如5号或者7号棱镜的位置，直接折射或者反射出去？」
他看向张汝宁和栗亚波，试图寻求答案。
