作为逐光系列光刻机的研发人员，就相当于是把孩子养大的父母。
自家孩子究竟是个什么水准，基本是心知肚明。
流片验证虽尚未开始，但最终结果如何，多少会有一个预期数值。
徐铭依旧保持着冷静的思维，将贺鹏涛和丁顺安两位的交流，悉数听进耳中，虽想说些宽慰的话，给他们吃上一颗定心丸，但嘴唇微动下，还是把话给咽了回去。
逐光极紫外光刻机，和璇玑系统EDA算法工具，他自然是胸有成竹信心满满。
但要知道一件事，流片验证的数据，可不单靠这两项左右，其中任何一个环节都能产生影响。
比如较为关键的光刻胶。
原本他的打算，是想通过璇玑系统，反向设计适配的高端光刻胶，尽管这会延长流片验证的日子，却可以保证良品率。
刚好科学院化学研究所，在国产光刻胶的研究上，取得了新突破。
便索性提前进行流片验证。
毕竟站在上面的角度，留给国内的时间确实不多，必须尽最大努力，和阿斯麦同步推出极紫外光刻机，把行业可能会受到的冲击损失，减低至最小范围。
于是念头停留在这里，他方沉声吐出一句话。
「开始工作吧，流片验证的数据如何，很快我们就能知道。」
随着话音落下，身旁的贺鹏涛和丁顺安，也一改刚才脸上的笑容，神情变得严肃认真。
点点头前往各自的工作区域，指挥科研人员调试。
为流片验证做最后准备。
伴随时间一分一秒流逝，机房现场的氛围，因逐渐弥漫的紧张感，变得有些窒息。
连余高远等场外人员，都仿佛要屏住呼吸。
生怕因为自己发出的动静，导致今天的流片验证出现问题。
不知道过去多久，只听站在操作台前的潘耀，突然开口向徐铭进行汇报，总算暂时打破眼下的氛围。
「报告徐总师，设备已调试完毕，随时可以进行流片。」
说完。
负责优化璇玑系统的苏振豪，同样不再保持沉默，紧跟在潘耀的话后，也停下手上动作，转过身报告工作进度。
「璇玑系统优化完成。」
闻言徐铭猛地从椅子上站起身。
目光先是依次在潘耀和苏振豪身上扫过，然后看向贺鹏涛和丁顺安，在短暂的眼神交流后，下秒便不再过多耽搁时间，立即下达了最重要的指令。
「开始吧。」
「是徐总设计师。」潘耀和苏振豪几乎同时回应。
紧接着所有科研人员，再次投入到紧张的工作状态，神情保持着高度专注。
此次流片验证采用的测试晶片，是一颗不包含复杂功能的专用测试晶片，其版图由璇玑系统软体生成。
包括解析度测试图案，套刻精度标志，电性测试机构，和特殊监测图形等。
不多时。
在超净间外，徐铭和科研团队，通过观察窗，看着第一片矽片被送入珠光极紫外光刻机，整个气氛庄重而充满期待。
