当全系统链路功能验证流片流程开始启动,严格按照璇玑输出的工艺档和珠光的标准参数执行,而这个过程也需要一定的时间,需在晶圆片完成制造后,进行光学量测和电子显微镜检测。
或许是看到氛围太过严肃,这个时候一直没发言的余高远,终于舍得主动开口。
「真让人惊心动魄啊,不知道有多久,没经历过这种心情了。」
说这句话时,故作轻松的语气,和脸上堆出的微笑,为大家的情绪增添一些不同的波动。
「大家的压力确实不小。」贺鹏涛点点头附和句。
前脚话音刚落,身旁科学院化学研究所的周启深院士,也接过话茬道:「国家有徐总师这样的天才,我相信逐光极紫外光刻机,肯定能光刻出良好的各层图案。」
他比贺鹏涛和丁顺安小上几岁,在光酸剂与树脂等分子设计,以及合成与作用机理等研究领域,位于国内领先地位。
对国家化学材料的发展,做出过重要贡献。
此次整合国内资源,成立国家集成电路制造研发创新中心,他所在化学研究所,也被纳入整合范围。
负责国产高端光刻胶的研发工作。
其中值得一提的是,徐铭擅长数学物理甚至信息学科,凭藉自身实力和天赋,带领光刻机和晶片设计软体,快速实现技术叠代。
以至于经常能在网上看到,又有新的进展新闻。
这对他们光刻胶项目组团队来讲,无疑有着巨大的压力。
只能依靠自身。
尽最大努力,保证国产高端光刻胶的研发,做到不拖其他项目部门的后腿。
毕竟大家所在工作属于一个整体,任何人掉队都不行。
幸好他们的运气还算不错,在首台逐光极紫外光刻机组装完前夕,成功合成一种效果更好的光刻胶。
远超过当前国内的光刻胶水平。
而正当他思维快速运转,脑海中一直想着流片结果时,耳旁突然响起徐铭的熟悉声音。
「我们要看的,不是能不能做出图形,而是现实与预测的偏差,究竟有多少原子。」徐铭看向周启深院士,神情很是认真的接话,他对流片数据的要求,远比现场人要高。
如果说其他人的目标,是晶片制造技术,追赶上阿斯麦设备的产品。
那么他则是要超过。
况且在付出这么多努力和心血后,想达成这一点,也并非是什么不可能做到的事。
余高远对徐铭的了解,无疑要比现场任何人都深。
他在听到这句话,当即应和道:「有你的这句话,我对流片结果可是更加期待了,看来又要给我惊喜。」
众人之间的交流并未持续多久,很快就又被流片过程吸引。
目睹百分之百国产化,正在运行的逐光极紫外光刻机,团队士气越发高昂。
由于整个流片过程,包括光刻和刻蚀,以及沉积等数十道工序,且被严密监控,因此往往要历时数周时间才能结束。
面对这种情况,大家毅然留在微电子装备。
都想第一时间看到流片数据,也好见证国内晶片制造历时上,真正里程碑时刻。
很快来到月底。
高考结束分数陆续出炉,准大学生开始填写志愿,选择自己心仪的高校专业。
如果这时候去参加,各地举行的招生活动,则会发现燕大所在展台位置,基本上一个学生和家长都没有,但偏偏被旁边的箐华等,学校招生老师羡慕的不行。